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真空蒸镀

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。

蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内，以电阻、电子束、激光等方法加热膜料，使膜料蒸发或升华，气化为具有一定能量（0.1～0.3eV）的粒子（原子、分子或原子团）。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片，到达基片表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在基片上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团，有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，终通过相邻稳定核的接触、合并，形成连续薄膜。

化学镀铜时。工件表面局部镀不上铜层

工件局部镀不上与完全镀不上是不同的，出现这种故障的原因是：

工件表面局部镀不上可能是除油不；

粗化不良；

敏化或活化时间不够；

塑料工件本身有应力或化学镀铜液成分失调等。

工件除油不造成的镀不上仅发生在少数工件和工件的局部位置上，不会所有的工件表面都有油，因此，出现这种故障的现象是少数的，可以采取良好的除油措施消除；

若塑料本身有应力引起的镀不上通常出现在工件的相似的部位，可以采取将少量工件经热处理去应力后，再按常用的粗化、敏化、活化和化学镀铜进行检查排除这种故障；

电镀加工厂环评时有许多重要因素，本文为大家介绍这些重要因素的概念以及处理方法。

1 电镀面积

传统的电镀产量多以吨、件、挂等来作为计量单位，随着电镀行业清洁生产标准和电镀污染物排放标准的颁布实施，电镀加工厂环境影响评价都引入了电镀面积来作为产能计量方式。

电镀面积作为环境影响评价文件的一个重要基础数据，其使用范围涉及工程分析、合理合法性和清洁生产水平等多个章节，它是基准排水量、基准排气量等指标的核算依据。